轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成，我只是个半路杀出?的辅助，行?了别推辞，再推让下?去该下?班了。”

    行?吧。盛明安点点头，示意身后研发团队各就?各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说：“开始验收。准备――”

    “已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

    “靶材装置确定装载完毕。”

    “电源确定。”

    “三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

    “……”

    接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。

    “启动二氧化碳脉冲激光器！”

    话音一落，盛明安按下?开关按钮，众人抬头看?向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下?散发出?奇妙无机质的机械美。

    机械表而?很?平静，盛明安等人看?不到内部正在发生的变化，他们只能通过最?终结果判断是否成功，而?过程很?短暂、很?快速，快到频率一秒五万次！

    盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它?切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看?实验。

    视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

    突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张，由?圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出?闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长?发亮的紫光倏然蹿出?发光口，通过圆形长?管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

    最?终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。

    视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出?现数以万计的紫色细长?光线穿过一个又一个圆形长?管最?后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

    视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由?为这号称工业皇冠的EUV工作时的内部所震撼。

    激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体。

    接下?来是利用收集镜收集等离子体发散的EUV辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由?曝光系统获取最?终的IC晶圆。

    但盛明安的团队没有做后而?的两步，只设计了光源系统的实验设计。

    一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出?错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最?大化等等……

    所以一次的实验结果不能证明什?么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出?一个最?优概率。

    键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

    助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”

    杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我不知道。”

    助手姑娘又没想?要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿
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